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30mm工作距离下测量范围±5mm,88kHz高频采样,重复精度达0.05μm,拥有Ø60μm小光斑
30mm工作距离下测量范围±5mm,88kHz高频采样,重复精度达0.05μm,拥有60*400μm宽光斑
50mm工作距离下测量范围-9~8mm,88kHz高频采样,重复精度达0.1μm,拥有Φ75μm小光斑
50mm工作距离下测量范围-9~8mm,88kHz高频采样,重复精度达0.1μm,拥有75*480μm宽光斑
80mm工作距离下测量范围-17~15mm,88kHz高频采样,重复精度达0.2μm,拥有Φ110μm小光斑
80mm工作距离下测量范围-17~15mm,88kHz高频采样,重复精度达0.2μm,拥有110*720μm宽光斑
150mm工作距离下测量范围-47~35mm,88kHz高频采样,重复精度达0.5μm,拥有Φ190小光斑
150mm工作距离下测量范围-47~35mm,88kHz高频采样,重复精度达0.5μm,拥有宽光斑190*1300μm
400mm工作距离下测量范围-100mm~100mm,88kHz高频采样,重复精度达0.2μm,拥有Φ450μm小光斑
400mm工作距离下测量范围-100mm~100mm,88kHz高频采样,重复精度达0.2μm,拥有190*1300μm宽光斑
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